 クリーンルーム
デバイス特性評価プローバー 半導体パラメータアナライザー 蒸着装置 リソグラフィ 段差計 太陽電池測定用AM１．５ クリーンベンチ 基板洗浄
グローブボックス |
基板洗浄 |
基板洗浄 |
基板洗浄 |
基板洗浄 |
蒸着
小チャンバー |
クリーンベンチ |
クリーンベンチ |
蒸着
大チャンバー |
蒸着準備 |
スピンコーター |
半導体
アナライザー測定 |
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 C207
トランジスタ特性評価 イオン化ポテンシャル測定装置 電気抵抗測定装置 可視紫外吸収スペクトル測定装置
真空低温プローバー |
イオン化ポテンシャル測定装置 |
電気抵抗測定装置 |
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C206
超伝導試料作製用グローブボックス 真空ライン ドラフト
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C204
電気炉、ハイパーモノライトシステム
C204 室内 |
電気炉 1 - 5号 |
乾燥機とドライボックス |
ハイパーモノライトシステム |
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C101
SQUID、アンモニア合成用真空ライン、ケルビンプローブ MBE ディスペンサー 実体顕微鏡
SQUID |
アンモニア合成用真空ライン |
単結晶用電気炉 |
実体顕微鏡 |
ケルビンプローブ |
MBE |
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 ボイラー棟
STM
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